序號
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名稱
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技術(shù)參數(shù)
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1
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平場目鏡
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正像大場高眼點(diǎn)目鏡PL10X/25mm
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2
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物鏡
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無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡5X NA0.15 WD14.35
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡10X NA0.30 WD8.5
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡20X NA0.40 WD10.8
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡50X NA0.75 WD3.0
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡100X NA0.90 WD1.0(選購)
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3
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光學(xué)放大倍數(shù)
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50X-500X(選購100倍物鏡后放大倍數(shù)50-1000X)
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4
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數(shù)碼放大倍數(shù)
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150-3000X(搭配1200萬相機(jī)及100倍物鏡,顯示器22英寸情況下)
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5
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觀察頭
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鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié):50mm~76mm,兩檔分光比雙目:三目=100:0
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6
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轉(zhuǎn)換器
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5孔明場物鏡轉(zhuǎn)換器(帶DIC插槽).
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7
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調(diào)焦機(jī)構(gòu)
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透反射用機(jī)架, 低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng),采用數(shù)字調(diào)光,具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能
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8
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載物臺
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6英寸平臺,平臺面積 450*240mm,移動行程:158mmX158mm機(jī)械平臺,X、Y方向同軸調(diào)節(jié);含快速移動裝置
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9
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偏光組件
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起偏鏡插板,360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板
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10
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反射照明系統(tǒng)
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明暗場反射照明器,帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心可調(diào),帶濾色片插槽,帶起偏鏡/檢偏鏡插槽,5W可調(diào)LED燈室,預(yù)定中心
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11
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透射照明系統(tǒng)
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5W可調(diào)LED燈室,透、反射通用,預(yù)定中心
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12
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聚光鏡
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搖出式消色差聚光鏡(N.A.0.9)
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13
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攝像接口
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0.65倍專用攝像接口
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14
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干涉組件
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微分干涉板(選購)
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15
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顯微鏡工業(yè)相機(jī)
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高清1200萬顯微相機(jī) 或2000萬像素 (選購)
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16
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圖像處理軟件
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拍照,錄像,測量,實時圖像拼接,景深融合等(選購)
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17
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標(biāo)尺
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高精度型測微尺,格值0.01m 總長1mm(選購)
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18
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晶圓轉(zhuǎn)盤
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8寸通用晶圓轉(zhuǎn)臺兼容6/4寸(選購)
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