CMY-420科研級三目正置大平臺金相顯微鏡半導(dǎo)體晶圓材料分析 無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng) 系統(tǒng)配置了大尺寸、大范圍移動(dòng)載物臺，適合大工件的檢查

序號

名稱

技術(shù)參數(shù)

1

平場目鏡

大視野 WF10X(Φ22mm)

2

無限遠(yuǎn)長距平場物鏡

PL L5X/0.12   工作距離：26.1 mm

PL L10X/0.25  工作距離：20.2 mm

PL L20X/0.40  工作距離：8.80 mm

PL L50X/0.70  工作距離：3.68 mm

PL L80X/0.80  工作距離：1.25 mm

3

總放大倍數(shù)

50X-800X

4

觀察頭

三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進(jìn)行切換)

5

轉(zhuǎn)換器

五孔 (外向式滾珠內(nèi)定位) 

6

粗微調(diào)調(diào)焦范圍

粗微動(dòng)同軸調(diào)焦, 微動(dòng)格值0.7μm, 粗動(dòng)松緊可調(diào),帶鎖緊和限位裝置

7

載物臺

機(jī)械式載物臺，外形尺寸：280mmX270mm，移動(dòng)范圍：橫向（X）204mm，縱向（Y）204mm

8

光瞳距離

53-75mm

9

濾色片

(黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃)濾色片轉(zhuǎn)換裝置

10

偏光裝置

推拉式檢偏器與起偏器

11

落射照明系統(tǒng)

6V30W鹵素?zé)?/span>,亮度可調(diào)內(nèi)置視場光欄、孔徑光欄

12

儀器重量

凈重11.0公斤    毛重12.5公斤

13

儀器尺寸

儀器尺寸44X45X42（cm） 包裝尺寸45X50X50(cm)