XTD-6745Y檢查顯微鏡配有二維移動工作臺可放8寸晶圓

型號

XTD-6745Y

光學(xué)系統(tǒng)

格利諾光學(xué)系統(tǒng)

標(biāo)配目鏡

寬視場目鏡（FN22）EPA10X  -8 ~+5

選配目鏡

EPA15X/16mm   EPA20X/12.5mm  EPA30X/7mm

標(biāo)準(zhǔn)放大倍數(shù)

6.7-45倍

綜合放大數(shù)

2.0X～270X

變倍主體

0.67X～4.5X

變焦比

6.71：1

倍率指示

0.67X,0.8X,1.0X,1.2X,1.5X,2.0X,2.5X,3.0X,3.5X,4.0X,4.5X，11個檔位精準(zhǔn)定格

觀察筒

45°三目傾斜角觀察筒,0.5X內(nèi)置拍攝用透鏡

工作距離

110mm

框架安裝

76mm

對焦單元

立柱支架臺，立柱高：380mm，調(diào)焦行程：106mm，底座：500x500X25mm

工作臺

配有二維移動工作臺，可放8寸晶圓

物鏡

倍率

種類

N.A.

W.D.（mm）

觀察倍率※2

觀察范圍（mm）※2

0.5x

選配輔助物鏡

0.036

200

3.4x～22.5x

φ65.7～φ9.8

1x

-

0.071

110

6.7x～45x

φ32.8～φ4.9

1.5x

選配輔助物鏡

0.1

61

10.1x～67.5x

φ21.9～φ3.3

2x

選配輔助物鏡

0.142

38

13.4x～90x

φ16.4～φ2.4

外形尺寸

194（W）×253（D）×368（H）mm

重量

3.5 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合）

備注

※1　物鏡與目鏡組合時的倍率范圍 
※2　使用目鏡10X時