原子力顯微鏡光學(xué)一體機(jī) FM-Nanoview Op-AFM

SKU: FM-Nanoview Op-AFM

產(chǎn)品介紹

◆ 光學(xué)金相顯微鏡和原子力顯微鏡一體化設(shè)計(jì)，功能強(qiáng)大

◆ 同時(shí)具備光學(xué)顯微鏡和原子力顯微鏡成像功能，兩者可同時(shí)工作，互不影響

◆ 同時(shí)具備光學(xué)二維測(cè)量和原子力顯微鏡三維測(cè)量功能

◆ 激光檢測(cè)頭和樣品掃描臺(tái)集成一體，結(jié)構(gòu)非常穩(wěn)定，抗干擾性強(qiáng)
◆ 精密探針定位裝置，激光光斑對(duì)準(zhǔn)調(diào)節(jié)非常簡(jiǎn)便
◆ 單軸驅(qū)動(dòng)樣品自動(dòng)垂直接近探針，使針尖垂直于樣品掃描
◆ 馬達(dá)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測(cè)的智能進(jìn)針?lè)绞?，保護(hù)探針及樣品

◆ 超高倍光學(xué)定位系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)探針和樣品掃描區(qū)域精確定位
◆ 集成掃描器非線(xiàn)性校正用戶(hù)編輯器，納米表征和測(cè)量精度優(yōu)于98%

技術(shù)參數(shù)

工作模式	接觸模式、輕敲模式	光學(xué)目鏡	10X
選配模式	摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力/靜電力	照明方式	LED柯勒照明系統(tǒng)
力譜曲線(xiàn)	F-Z力曲線(xiàn)、RMS-Z曲線(xiàn)	光學(xué)調(diào)焦	粗微動(dòng)手動(dòng)調(diào)焦
XY掃描范圍	50×50um，可選20×20um，100×100um	攝像頭	500萬(wàn)像素CMOS傳感器
Z掃描范圍	5um，可選2.5um，10um	顯示屏	10.1寸平板顯示器，帶圖像測(cè)量功能
掃描分辨率	橫向0.2nm，縱向0.05nm	掃描速率	0.6Hz~30Hz
樣品尺寸	Φ≤68mm，H≤20mm	掃描角度	0~360°
樣品臺(tái)行程	25×25mm	運(yùn)行環(huán)境	Windows XP/7/8/10操作系統(tǒng)
光學(xué)物鏡	5X/10X/20X/50X平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡	通信接口	USB2.0/3.0

應(yīng)用案例

GaN襯底掃描范圍3µm×3µm.png 單晶硅金字塔.png 掃描范圍30µm×30µm.png

GaN襯底/掃描范圍3µm×3µm 單晶硅金字塔/掃描范圍30µm×30µm

微米光柵.png 掃描范圍16µm×16µm.png

微米光柵/掃描范圍30µm×30µm MoTe/掃描范圍16µm×16µm

包裝清單

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